1、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏 。
2、滾筒內(nèi)清洗，用于SIO2原料的清洗工藝。
3、可設(shè)計手動全自動運行設(shè)計，全自動運行方式采用兩只機械手運行，更有效提高效率降低成本。
4、清洗能力：10-20kg/批
5、全方面的警報提示功能，防呆設(shè)計功能。
6、模組化設(shè)計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中，底盤 采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險。
7、后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計，排風(fēng)區(qū)酸堿隔離，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對操作員有安全 保護。
8、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI.
9、設(shè)備槽位區(qū)配備 PTFE 材質(zhì) 2 只純水槍和 2 只氮氣槍，方便操作員手工清 洗槽體或工件。
10、設(shè)備設(shè)計標準按半導(dǎo)體行業(yè)標準（SEMI-S2）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證。
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