1、適用于 6-8”硅片的去邊處理；
2、兩套機(jī)械吸盤自動上下料，由機(jī)器人把硅片從上料端搬運(yùn)到下吸盤，自動對位；
3、真空吸盤吸附的方式進(jìn)行硅片的搬運(yùn)；
4、下料位有獨(dú)立的下料槽，沖水下料，自動進(jìn)到片夾；
5、設(shè)計純水再利用；
6、去邊精度0.6mm；
7、 控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI，所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件；
8、機(jī)臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。
9、設(shè)備設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。
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